Regulus Series sử dụng đầu phát điện tử phát xạ trường lạnh (Cold-field-emission - CFE) tối ưu hóa cho hình ảnh độ phân giải cao tại thế gia tốc thấp. Đầu phát cho phép thiết bị có thể để phóng to hình ảnh độ phân giải cao lên đến 2 triệu lần *1 so với chỉ 1 triệu lần trong các dòng sản phẩm trước đó.

- Đầu phát điện tử CFE được tối ưu hóa cho điện áp thấp, hình ảnh độ phân giải cao với sai số nhỏ

- Độ phân giải được cải thiện 20% so với các model trước đó (Regulus8220 / 8230/8240: 0,9 nm / 1 kV; Regulus8100: 1,1 nm / 1 kV)

- Độ phóng đại tối đa lớn gấp đôi, từ 1 triệu lần lên tới 2 triệu lần *2